escolaridade
ensino teórico (T) - 2 horas/semana
idioma(s) de lecionação
Inglês
objectivos
Filmes finos são onipresentes em ciência e em tecnologias. Existe uma grande variedade de técnicas de deposição de filmes fino, sendo cada uma delas utilizada para aplicações específicas. O objetivo do curso é proporcionar aos alunos os conhecimentos básicos avançados para entender as correlações entre as propriedades dos filmes e as técnicas de preparação, bem como a seleção de técnicas, deposições e equipamentos de caracterização e métodos mais adequados para uma pesquisa específica ou uma tecnologia.
competências
Os alunos aprenderão princípios físicos e aspectos práticos dos processos de deposição e caracterização de filmes finos, bem como o design do equipamento para deposições de filmes finos.
conteúdos
- Introdução
- o aplicações de filmes finos
- o classificação geral de filmes finos
- o classificação dos processos de deposição
- Formação de filmes finos e processos de crescimento na deposição
- Exemplos de processos físicos de deposição de vapor
- Evaporação e epitaxia de feixe molecular
- o pulverização
- o deposição por laser pulsado
- Métodos de caracterização de filmes finos
- o caracterização estrutural
- o caracterização da composição química
- o caracterização de propriedades físicas
- Deposição de vapor químico
- Princípios básicos da tecnologia de vácuo
avaliação
Avaliação Final: 40.00%(relatório escrito e apresentação oral) + 60.00%(prova escrita)
requisitos
O curso será construído principalmente no material anteriormente estudado nos seguintes cursos:
- Física da Matéria
- Electromagnetismo
- Termodinâmica e Física Estatística
- Física do Estado Sólido
- Técnicas de Caracterização de Estruturas
metodologia
As conferências serão o principal método de ensino no curso. Os slides do PowerPoint e os materiais multimédia serão usados nas palestras. Esses materiais serão disponibilizados aos estudantes. Os estudantes visitarão um laboratório de investigação ou industrial para observar / participar num processo de deposição de filmes finos.
bibliografia recomendada
Ohring, M. Materials Science of Thin Films: Deposition and Structure, 2nd edition, 2002
Seshan, K. (Ed.) Handbook of Thin Film Deposition Techniques: Principles, Methods, Equipment and Applications, 2nd edition, 2001